加工定制是
外形尺寸定制
水質超純水
生產技術貴州鑫灃源環保
尺寸定制
機架304
質保1年免費,終身維護
管道CPVC/UPVC
材質304/UPVC
組裝模塊化
產水電阻率:≥10----18.25MΩ..CM/25℃
安裝調試包含
組合模塊化
是否自動全自動
產水量0.25噸/小時至1000噸/小時
進水水質市政自來水或者井水
出水水質符合客戶要求的純水水質
電導率范圍0.055μS/cm~10μS/cm
電阻率范圍1MΩ·cm~18.2MΩ·cm(常溫下20°C)
生產地貴州貴陽
純凈水設備一般都是生產生活用水的,作為生活用水在要求方面肯定要嚴格很多,那么純凈水設備在使用之前需要先考慮3個方面。
1、自備一套余氯比色測定計。
目前所運用的純凈水設備的膜多為低壓的聚酰胺膜,該膜在運用中不耐氯,尤其在重金屬離子的效果下,易氧化形成損。自來水多含重金屬離子,在活性炭失效后,極易損膜。自來水余氯和有機物的含量是改變的,僅僅靠核算和估量是不行的,活性炭的失效要以測驗為準,這樣既可防止過早替換的糟蹋和過遲替換引起的膜損。該比色計的價格便宜,操作也方便??稍诤怂愕奶鎿Q期前10d開端每天測定。
2、當地自來水的水質陳述是必不可少的,盡管國內有一個自來水規范,但各地的自來水是不同的。
能夠從自來水公司獲得近期的水質陳述,在購買純凈水設備時提供給設備廠商,由廠商依據水質陳述中的余氯核算斷定活性炭的大致替換周期,依據水質陳述中的鈣、鎂等離子的濃度核算斷定回收率的規模、可能的污染及清洗的方法。
3、裝置純凈水設備時應預留清洗和保養的進出口。
因為一體化設備無阻垢劑投加體系,結垢是不免的,加上運轉中可能會呈現微生物和膠體等污染,因此清洗是有必要的。在冬天或長時間不運轉時保養、消毒也是必要的。在一體化設備的進口端接上三通及閥門后別離接原水和清洗水箱。在清洗和保養時要取出活性炭。
超純水設備系統在半導體晶片制造過程中重起到至關重要的作用。在一個生產周期內,一個晶片與超純水的接觸超過35次,在任何一個環節發生供水中斷或者水質不合格都會影響晶片的質量,甚至導致產品的報廢。水處理之家網認為,穩定可靠的超純水設備系統是**半導體晶片可持續生產的關鍵。
一、半導體晶片超純水設備系統簡介
本方案以半導體晶片生產用超純水設備系統為案例,詳細講解205T/H的超大型超純水設備系統設計特點、工藝流程、超純水供水網管設計等。
對于原水中的各種雜質,可以選用的去除方式多種多樣,每一種凈化設備基于不同的凈化原理,對各種雜質的去除效率各不相同,甚至某些設備在去除特定雜質的同時會引起其他雜質數值的上升。超純水設備系統設計的過程就是在滿足水質要求的前提下尋找一個投資與操作優化的凈化設備組合方案的過程。不同凈化設備對各種雜質的去除效率。對超純水水質的指標要求:
二、半導體晶片超純水設備系統設計特點
典型的超純水設備系統流程可分為部分:預處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日,超純水的回收再利用已經成為超純水設備系統設計必不可缺的一部分。一般而言,經工藝機臺使用的超純水除了PH值,電導率,TOC等指標較差外,大部分指標都優于市政供水,只要有針對性地設計一些凈化設備,完全可以將超過70%的超純水供水回收再利用,達到節水環保的目的。當然,回收率越高,其設備投資及操作運行成本也越高。本系統的流程設計充分考慮到工程水質要求高,水量超過250噸小時的特點,各部分的設計兼顧經濟性和可操作性,巧妙地將超純水回收利用系統融合于制備系統。
三、半導體晶片超純水設備系統工藝流程
自來水—加藥—多介質過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統—輸送管網—用水點
四、半導體晶片超純水設備系統設計方案
預處理:
1.PAC、NaCl0加藥:絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質過濾器的大基團,而NaCl0具有殺菌,分解有機物的作用。
2.多介質過濾器:去除原水中經絮凝的膠體粒子和懸浮固體,可通過反沖洗再生。H,S0 加藥,常壓脫氣塔:加H,S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除,常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設計的,可以提高真空膜脫氣的除氧效率,減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器:在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統的除鹽率,保證出水水質。
4.10 u m預過濾器:過濾顆粒雜質,保護反滲透膜。
5.一級反滲透:反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質都有較好的脫除效果。不同材質的反滲透膜操作條件不同,脫除雜質的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復合(TFC)膜低,本設計用于一級反滲透,作為預處理階段去除大量離子等雜質之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結垢,保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預處理水箱:儲存一級反滲透產水,收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器:表面具有無數10—10 A微孔的活性炭吸附預處理水尤其是回收純水中的有機物,并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔:離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床,主要為去除回收純水中的各種陰陽離子,降低電導率而設計,同時可進一步純化預處理水,保證水質離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復使用。
初級制水:
1.去離子水箱:儲存去離子水,調節和平衡預處理系統和初級制水系統的運行。
2.紫外線殺菌:波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器:過濾顆粒雜質,保護反滲透膜。
4.二級反滲透: 采用復合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95% 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱:儲存二級反滲透產水,充普通氮氣,隔絕空氣,以保護水質不受污染。
6.去有機物紫外線: 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床:不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂,混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率,混床出水電阻率已達1 7M Q.cm以上,接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器:去除去離子水中的顆粒雜質,并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒,以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置:加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產水中溶氧達到小于lppb的要求,與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比,具有脫氣率高,占空間小,節省氮氣的優點。
工業純水設備的穩定運行及使用壽命,與日常的運行管理息息相關,正確操作需注意以下事項。
1、反滲透膜的水解易造成反滲透裝置的性能惡化,因此要嚴格控制水的PH值,給水PH值在3-11范圍內。
2、如果給水的FI值超標,膜組件的表面會附著污垢,出現這種現象須進行清洗。
3、因注入的次氯酸鈉量不足,造成給水中的游離氯不能測出時,工業純水設備的膜組件會有黏泥,使壓差增加,所以要嚴格控制進入膜組件的游離氯量,制止超過規定值導致膜氧化分解。
4、給水不能超過設計標準值,否則會造成膜組件提前劣化。另外,濃水的不得小于設計標準值,否則會使工業純水設備的壓力容器流動不均勻,由過分濃縮使膜組件析出污垢。
5、高壓泵不可中斷運轉,否則裝置容易故障。
工業純水設備
6、夏天給水溫度高,產水就多,減低操作壓力的話,會導致產水水質下降。因此,建議操作壓力保持,減少膜組件的數量便可。
7、冬季水溫下降,為了制止反滲透裝置停運時析出二氧化硅,應用低壓給水置換反滲透裝置內的水。
8、如果沒有適當的壓實,會減低工業純水設備除鹽率,因此壓力要保持適當的裕度。
9、保安過濾器壓差加快上升,是因為渾濁度的泄漏;出現壓差加快下降的現象,是元件緊固螺絲松動,或是精密過濾器元件破損等原因造成的。
10、如果工業純水設備和出口的壓差超標,說明給水在設計值以上,或者是膜面受到污染。重新調整,或者更換膜元件便可。
1.設備基本技術特征
系統采用全自動控制,系統運行時可設定自動反洗、再生程序;
一級反滲透和二級反滲透設有回流管道,反滲透設備設有化學清洗裝置和消毒裝置;
在一級反滲透和二級反滲透間設有 PH調節裝置,以保證設備產水電導率符合藥典要求;
二級反滲透膜采用帶正電荷的抗污染反滲透膜,以保證反滲透設備能長期穩定運行;
一級反滲透管路采用 304不銹鋼材料,二級反滲透采用 316L 不銹鋼材料;
在級反滲透和第二級反滲透設備中均裝有在線電導檢測儀表,產水電導率可隨時觀看;
一級反滲透前設有低壓保護開關,二級反滲透前設有低壓保護和高壓保護開關;
一級、二級反滲透水回收率可調整,一級反滲透回收率 60%-65%,二級反滲透回收率70%;
前處理裝置均采用原裝進口件;前處理設備間管路采用 UPVC管材。
純化水儲水罐帶呼吸過濾器,輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過濾器,保證純水符合衛生要求。
2.我公司設備設計、生產、安裝
(1)結構設計應簡單、可靠、拆裝簡便。
(2)為便于拆裝、更換、清洗零件,執行機構的設計盡量采用的標準化、通用化、系統化零部件。
(3)設備內外壁表面,要求光滑平整、無死角,容易清洗、滅菌。零件表面應做鍍鉻等表面處理,以耐腐蝕,防止生銹。設備外面避免用油漆,以防剝落。
(4)制備純化水設備應采用低碳不銹鋼或其他經驗證不污染水質的材料。制備純化水的設備應定期清洗,并對清洗效果驗證。
(5)用水接觸的材料必須是低碳不銹鋼或其他經驗證不對水質產生污染的 材料。制備用水的設備應定期清洗,并對清洗效果驗證。
(6)純化水儲存周期不宜大于,其儲罐宜采用不銹鋼材料或經驗證無毒,耐腐蝕,不滲出污染離子的其他材料制作。保護其通氣口應安裝不脫落纖維的疏水性除菌濾器。儲罐內壁應光滑,接管和焊縫不應有死角和沙眼。應采用不會形成滯水污染的顯示液面、溫度壓力等參數的傳感器。對儲罐要定期清洗、消毒滅菌,并對清洗、滅菌效果驗證。
(7)制藥用水的輸送
1)純化水和制藥用水宜采用易拆卸清洗、消毒的不銹鋼泵輸送。在需用壓縮空氣或氮氣壓送的純化水和用水的場合,壓縮空氣和氮氣須凈化處理。
2)純化水宜采用循環管路輸送。管路設計應簡潔,應避免盲管和死角。管路應采用不銹鋼管或經驗證無毒、耐腐蝕、不滲出污染離子的其他管材。閥門宜采用無死角的衛生級閥門,輸送純化水應標明流向。
3)輸送純化水和用水的管道、輸送泵應定期清洗、消毒滅菌,驗證合格后方可投入使用。
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