超濾膜的分類：
超濾膜按結構型式分為板框式（板式）、中空纖維式、納米膜表超濾膜、管式、卷式等多種結構。其中，中空纖維超濾膜是超濾技術中為成熟與的一種形式。中空纖維外徑0.4-2.0mm，內徑0.3-1.4mm，中空纖維管壁上布滿微孔，孔徑以能截留物質的分子量表達，截留分子量可達幾千至幾十萬。原水在中空纖維外側或內腔加壓流動，分別構成外壓式與內壓式中空超濾膜。超濾是動態過濾過程，被截留物質可隨濃縮液排除不致堵塞膜表面，可長期連續運行。
超濾技術的應用：
早期的工業超濾應用于廢水和污水處理。三十多年來，隨著超濾技術的發展，如今超濾膜技術的應用領域已經很廣，主要包括生活飲用水、食品工業、飲料工業、乳品工業、生物發酵、生物、化工、生物制劑、制劑、、印染廢水、食品工業廢水處理、資源回收以及環境工程等等。
超濾設備的優點：
A、超濾膜元件采用世界膜公司產品，確保了客戶得到目前世界上質的有機膜元件，從而確保截留性能和膜通量。
B、系統回收率高，所得產品品良，可實現物料的分離、純化及高倍數濃縮。
C、處理過程無相變，對物料中組成成分無任何不良影響，且分離、純化、濃縮過程中始終處于常溫狀態，特別適用于熱敏性物質的處理，完全避免了高溫對生物活性物質破壞這一弊端，有效保留原物料體系中的生物活性物質及營養成分。
D、系統能耗低，生產周期短，與傳統工藝設備相比，設備運行費用低，能有效降低生產成本，提高企業經濟效益。
E、系統工藝設計，集成化程度高，結構緊湊，占地面積少，操作與維護簡便，工人勞動強度低。
F、系統制作材質采用衛生級管閥，現場清潔衛生，滿足GMP或FDA生產規范要求。G.控制系統可根據用戶具體使用要求進行個性化設計，結合的控制軟件，現場在線集中重要工藝操作參數，避免人工誤操作，多方位確保系統長期穩定運行。
中空纖維超濾膜在使用中應注意事項：
A、過濾系統要定期滅菌。 超濾膜可以截留，但不可以殺死，截留率再好的超濾膜也不能長期保證干凈區不長一個，有就可能大量繁殖。直接影響到透過水質，譬如有的礦泉水成品中出現半透明絲狀白色絮狀的霉菌團，主要是系統被霉菌污染所致。因此，必須定期對周轉環境及過濾系統進行定期滅菌，滅菌的操作周期因供給原水的水質情況而定，對于城市普通自來水而言，夏季7～10天，冬季30～40天，春秋季20～30天。地表水作為供給水源時，滅菌周期更短。滅菌藥品可用500～1000mg/L次氯酸鈉溶液或1%過氧化氫水溶液循環流或浸泡約半小時即可。
B、由于每根超濾組件在出廠前加入保護液，使用前要徹底沖洗組件中的保護液，先用低壓（0.1MPa）給水沖洗1小時，然后再用高壓（0.2MPa）給水沖洗1小時，無論低壓還是高壓沖洗時，系統的產水排放閥均應全部打開。在使用產水時，應檢查并確認產品水中不含有任何殺菌劑。
C、超濾組件要輕拿輕放，并注意保護，由于超濾組件是精密器材，所以在使用安裝時要小心，要輕拿輕放，更不能甩壞。組件若停用，要先用清水沖洗干凈后，加0.5%水溶液進行消毒滅菌，并密封好。如冬天組件還要進行防凍處理，否則組件可能報廢。

系統采用果殼活性炭過濾器，活性炭不但可吸附電解質離子，還可進行離子交換吸附。經活性炭吸附還可使耗氧量（COD）由15mg/L(O2)降至2～7mg/L(O2)，此外，由于吸附作用使表面被吸附復制的濃度增加，因而還起到催化作用、去除水中的色素、異味、大量生化有機物、降低水的余氯值及農污染物和除去水中的三鹵化物（THM）以及其它的污染物。同時，設備具有自我維護系統，運行費用很低。
超濾(UltraFiltration ,簡稱UF) 是溶液在壓力作用下,溶劑與部分低分子量溶質穿過膜上微孔到達膜的另一側,而高分子溶質或其它乳化膠束團被截留,實現從溶液中分離的目的。它的分離機理主要是靠物理的篩分作用。超濾分離時是在對料液施加一定壓力后，高分子物質、膠體物質因膜表面及微孔的一次吸附，在孔內被阻塞而截留及膜表面的機械篩分作用等三種方式被超濾膜阻止，而水和低分子物質通過膜。礦泉水、誰泉水設備可利用超濾裝置有效除水中的膠體、化學有機物、重金屬、等大分子有機物，保留水中有益微量元素。
礦泉水設備是以膜兩側壓力差為動力，以機械篩分原理為基礎的一種溶液分離 ，使用壓力通常為0.2MPa--0.6MPa,分離孔徑1nm--0.1μm,可廣泛應用于物質的分離、 濃縮、提純。超濾過程無相轉化，常溫操作，對熱敏性物質的分離尤為適宜，并具有良好的耐溫、耐酸堿和耐氧化性能，能在60℃ 以下，PH為2-11的條件下長期連續使用。

超純水設備系統在半導體晶片制造過程中重起到至關重要的作用。在一個生產周期內，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環節發生供水中斷或者水質不合格都會影響晶片的質量，甚至導致產品的報廢。水處理之家網認為，穩定可靠的超純水設備系統是**高品質半導體晶片可持續生產的關鍵。
一、半導體晶片超純水設備系統簡介
本方案以半導體晶片生產用超純水設備系統為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設備系統設計特點、工藝流程、超純水供水網管設計等。
對于原水中的各種雜質，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設備基于不同的凈化原理，對各種雜質的去除效率各不相同，甚至某些設備在去除特定雜質的同時會引起其他雜質數值的上升。超純水設備系統設計的過程就是在滿足水質要求的前提下尋找一個投資與操作優化的凈化設備組合方案的過程。不同凈化設備對各種雜質的去除效率。對超純水水質的指標要求：
二、半導體晶片超純水設備系統設計特點
典型的超純水設備系統流程可分為部分：預處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經成為超純水設備系統設計必不可缺的一部分。一般而言，經工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導率，TOC等指標較差外，大部分指標都優于市政供水，只要有針對性地設計一些凈化設備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節水環保的目的。當然，回收率越高，其設備投資及操作運行成本也越高。本系統的流程設計充分考慮到工程水質要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設計兼顧經濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統融合于制備系統。
三、半導體晶片超純水設備系統工藝流程
自來水—加藥—多介質過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統—輸送管網—用水點
四、半導體晶片超純水設備系統設計方案
預處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質過濾器：去除原水中經絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統的除鹽率，保證出水水質。
4.10 u m預過濾器：過濾顆粒雜質，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質都有較好的脫除效果。不同材質的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復合(TFC)膜低，本設計用于一級反滲透，作為預處理階段去除大量離子等雜質之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預處理水箱：儲存一級反滲透產水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數10—10 A微孔的活性炭吸附預處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導率而設計，同時可進一步純化預處理水，保證水質離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調節和平衡預處理系統和初級制水系統的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節省氮氣的優點。

工廠用純化水設備操作注意事項
1、不是水處理設備的操作人員一律不能進出水處理車間。
2、嚴格禁止未經過培訓的人員隨便竄崗，時刻注意設備的運行狀態。
3、設備的操作人員必需每天調整好運行的壓力、、水質、開機、停機、清洗時間的項目記錄。
4、不允許故障運行，一經發現異常，應暫停運行并告知主管，有的維修人員負責排除故障。
純化水設備
5、活性過濾器開機時先開下排閥，再開進水閥。
6、纖維球過濾器再開機時，先打開相應的反洗閥，反洗至水質合格后在開啟進出水閥，投入運行。
7、阻垢劑在開機前必須檢查是否滿足工作時的需要數量，達不到要求應補加阻垢劑，之后再開機運行。
8、打開增壓泵進水閥，啟動電源同時打開保安過濾器排氣閥，觀察出水水質和壓力時候符合RO反滲透裝置的進水要求。
9、要嚴格按照使用所明書進行清洗、維護、保養。
10、遇到嚴重故障時，應當果斷關閉開關，確認故障排除后可解鎖并重新運行設備。
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